Bir yöndeki uzunluk diğer iki yöndeki uzunluktan küçük olduğunda bu yapıya ince film adı verilir. Günümüzde mikroelektronik filmlerin, optik filmlerin, anti-oksidasyon filmlerinin, dev manyetodirençli filmlerin, yüksek-sıcaklık süperiletken filmlerinin vb. endüstriyel üretimde ve insan yaşamında sürekli uygulanması, endüstride üretilen filmlerin kalınlığı çok önemli bir parametredir, doğrudan film malzemesinin normal şekilde çalışıp çalışmamasıyla ilgilidir.
Normalde filmin kalınlığı, alt tabakanın yüzeyi ile filmin yüzeyi arasındaki mesafeyi ifade eder. Aslında filmin yüzeyi düzensiz ve süreksizdir ve yüzeyde iğne delikleri, mikro çatlaklar, fiber filamentler, yabancı maddeler, Kafes kusurları ve adsorbe edilmiş moleküller vardır. Örneğin, büyük-ölçekli entegre devrelerin üretim sürecindeki çeşitli ince filmler, devre entegrasyon derecesinin sürekli iyileştirilmesi ve ince filmin kalınlığındaki küçük değişiklikler nedeniyle entegre devrelerin performansı üzerinde doğrudan etkiye sahip olacaktır. Ayrıca ince film malzemelerin mekanik özellikleri, ışık geçirgenlik özellikleri, manyetik özellikleri, ısı iletkenliği, yüzey yapısı vb. özellikleri kalınlıkla yakından ilişkilidir. Bu nedenle, üretim sürecinde film kalınlığının çevrimiçi olarak doğru ölçümü, ürün kalitesini garantilemek ve üretim verimliliğini artırmak için önemli bir araçtır.
Film kalınlığının doğru ölçümü, ne tür kalınlık sensörünün kullanıldığına bağlıdır. Şu anda, çevrimiçi film kalınlığı algılama teknolojisi için temel olarak birkaç yöntem vardır:
1. Beta probu, ince film tespiti için kullanılan en eski sensördür. Sinyal kaynağı olarak beta radyasyon kaynağını kullanır ve teknoloji olgunlaşmıştır. Ancak radyoaktif kaynakların kullanımı için lisans alınması gerekmektedir ve ithalat ve ihracat prosedürleri nispeten karmaşıktır. Hizmet ömrünün bir yarı-ömür sınırı vardır ve radyoaktif kaynağın zayıflamasıyla algılama doğruluğu azalacaktır.
2. Kızılötesi problar, filmin kalınlığını ölçmek için belirli kızılötesi bantların belirli plastik filmlerde güçlü bir şekilde emilmesi prensibini kullanır. Sensör algılamada stabildir ve ortamdaki değişikliklerden etkilenmez ancak katkı maddeleri ve renkteki değişikliklere duyarlıdır ve aynı üretim hattında birden fazla ürün üretilmesi uygun değildir.
3. X-ışını probu, plastik filmin kalınlığını tespit etmek amacıyla bir sinyal kaynağı olarak X-ışınları oluşturmak için X-ışını tüpünü kullanır. Pek çok avantajı var: uçan radyoaktif maddeler; düşük enerji lisans gerektirmez; geniş bir ölçüm aralığı; yüksek ölçüm doğruluğu; Her türlü plastik katkı maddelerinden ve renkli masterbatch'ten etkilenmeden ölçülebilmektedir.
Günümüzde film kalınlığı ölçüm cihazı yüksek hassasiyet ve otomasyona ulaşmış ve çok yüksek bir seviyeye ulaşmıştır. Ölçüm doğruluğu, genel film katmanı için ölçülen film kalınlığının ±%2 ila ±%5'i ve ince film için ±2nm'dir ve Mikro alan ölçüm fonksiyonuna, hızlı ölçüm hızına ve yüksek derecede otomasyona sahiptir. Özellikle teknolojinin ilerlemesi ve hassas aletlerin kullanılmaya başlanmasıyla birlikte yukarıdaki tespit teknolojisi yöntemlerine ek olarak filmin kalınlığı da ultrasonik sensörle ölçülebilmektedir. Gongcai-MB7480 tarafından önerilen MaxBotix ultrasonik sensör, yüksek performanslıdır. Ultrasonik hassas mesafe ölçer, havada yüksek hassasiyet ve yüksek çözünürlüklü ultrasonik mesafe ölçümü sağlayabilir.
